陶瓷PCB在電子封裝過程中基板主要起機械支撐保護與電互連(絕緣)作用。隨著電子封裝技術逐漸向著小型化、高密度、多功能和高可靠性方向發展示,電子系統的功率密度隨之增加,散熱問題越來越嚴重。器件的散熱影響條件眾多,其中基板材料的選用也是關鍵的一環。為了提高這些微電子器件性能 (特別是可靠性),必須將其芯片封裝在真空或保護氣體中,實現氣密封裝 (芯片置于密閉腔體中,與外界氧氣、濕氣、灰塵等隔絕)。因此,必須首先制備含腔體 (圍壩)結構的三維基板,滿足封裝應用需求。目前常見的三維陶瓷基板主要有:高/低溫共燒陶瓷基板( HTCC/LTCC) 、多層燒結三維陶瓷基板 (MSC)、直接粘接三維陶瓷基板 (DAC)、多層鍍銅三維陶瓷基板(MPC)以及直接成型三維陶瓷基板(DMC) 等。
目前,電子封裝常用的基板材料主要有四大類:聚合物基板;金屬基板;復合基板;陶瓷基板。陶瓷基板材料以其強度高、絕緣性好、導熱和耐熱性能優良、熱膨脹系數小、化學穩定性好等優點,廣泛應用于電子封裝基板。陶瓷封裝基板材料主要包括Al2O3、BeO和AlN等。目前,Al2O3陶瓷是應用最成熟的陶瓷封裝材料,以其耐熱沖擊性和電絕緣性較好、制作和PCB加工技術成熟而被廣泛應用。相對于塑料基和金屬基,其優點是:
(1)低介電常數,高頻性能好。
(2)絕緣性好、可靠性高。
(3)強度高,熱穩定性好。
(4)熱膨脹系數低,熱導率高。
(5)氣密性好,化學性能穩定。
(6)耐濕性好,不易產生微裂現象。
陶瓷封裝材料缺點是:成本較高,適用于高級微電子器件的封裝,如航空航天和軍事工程的高可靠、高頻、耐高溫、氣密性強的封裝。
在移動通信、家用電器、汽車等領域也有著廣泛應用。部分國家相繼開發出多層陶瓷基片,使其成為一種廣泛應用的高技術陶瓷,從結構與制作工藝,陶瓷基板可分為高溫共燒多層陶瓷基板、低溫共燒陶瓷基板、厚膜陶瓷基板、直接鍵合銅陶瓷基板等。
高溫共燒多層陶瓷基板制備工藝是:先將陶瓷粉(Si3N4、Al2O3、AlN)加入有機黏結劑,混合均勻后成為膏狀漿料,接著利用刮刀將漿料刮成片狀,再通過干燥工藝使片狀漿料形成生坯,然后依據各層的設計鉆導通孔,采用絲網印刷金屬漿料進行布線和填孔,最后將各生坯層疊加,置于高溫爐(1600℃)中燒結而成。因為燒結溫度高,導致金屬導體材料的選擇受限(主要為熔點較高但導電性較差的鎢、鉬、錳等金屬),制作成本高,熱導率一般在20~200W/(m ℃),取決于陶瓷粉體組成與純度。
此外,受到絲網印刷工藝限制,HTCC基板線路精度較差,難以滿足高精度封裝需求。但HTCC基板具有較高機械強度和熱導率 [20 W/(m·K) ~ 200 W/(m·K)],物化性能穩定,適合大功率及高溫環境下器件封裝。將HTCC工藝應用于微型蒸汽推進器,制備的微型加熱器比硅基推進器效率更高,能耗降低 21%以上。為了降低HTCC制備工藝溫度,同時提高線路層導電性,業界開發了LTCC基板。與HTCC制備工藝類似,只是LTCC制備在陶瓷漿料中加入了一定量玻璃粉來降低燒結溫度,同時使用導電性良好的Cu、Ag和Au等制備金屬漿料。
低溫共燒陶瓷基板制備工藝與高溫共燒多層陶瓷基板類似,其區別是在Al2O3粉體中混入質量分數30%-50%的低熔點玻璃料,使燒結溫度降低至850~900℃,因此可以采用導電率較好的金、銀作為電極和布線材料。但另一方面,因為低溫共燒陶瓷基板陶瓷料中含有玻璃相,其綜合熱導率僅為2~3W/(m·℃)。此外,由于低溫共燒陶瓷基板采用絲網印刷技術制作金屬線路,有可能因張網問題造成對位誤差。而且多層陶瓷疊壓燒結時還存在收縮比例差異問題,影響成品率。
由于在陶瓷漿料中添加了玻璃粉,導致基板熱導率偏低 [一般僅為 3 W/(m·K) ~ 7 W/(m·K)]。此外與HTCC一樣,由于LTCC基板采用絲網印刷技術制作金屬線路,有可能因張網問題造成對位誤差,導致金屬線路層精度低。而且多層陶瓷生胚疊壓燒結時還存在收縮比例差異問題,影響成品率,一定程度上制約了LTCC基板技術發展。經過表面處理將LTCC基板翹曲由150μm ~ 250μm降低至80μm ~ 110μm。通過改進LTCC基板封裝形式,去掉芯片與金屬基底間絕緣層,模擬和實驗結果顯示其熱阻降低為7.3 W/(m·K),滿足大功率LED封裝需求。
這里需要注意的是,在實際生產中,為了提高低溫共燒陶瓷基板導熱性能,可在貼片區增加導熱孔或導電孔,但缺點是會造成成本增加。同時為了拓展陶瓷基板的應用領域,一般采用多層疊壓共燒工藝,可以制備出含腔體的多層結構(通常稱為陶瓷管殼而非陶瓷基板),滿足電子器件氣密封裝要求,廣泛應用于航空航天等環境惡劣及光通信等可靠性要求較高的領域。
與HTCC/LTCC基板一次成型制備三維陶瓷基板不同,有些工廠采用多次燒結法制備了MSC基板。其工藝首先制備厚膜印刷陶瓷基板(TPC),隨后通過多次絲網印刷將陶瓷漿料印刷于平面TPC基板上,形成腔體結構,再經高溫燒結而成,得到的MSC基板樣品。由于陶瓷漿料燒結溫度一般在800°C左右,因此要求下部的TPC基板線路層必須能耐受如此高溫,防止在燒結過程中出現脫層或氧化等缺陷。
TPC基板線路層由金屬漿料高溫燒結 (一般溫度為850°C ~ 900°C) 制備,具有較好的耐高溫性能,適合后續采用燒結法制備陶瓷腔體。MSC基板技術生產設備和工藝簡單,平面基板與腔體結構獨立燒結成型,且由于腔體結構與平面基板均為無機陶瓷材料,熱膨脹系數匹配,制備過程中不會出現脫層、翹曲等現象。
其缺點在于下部TPC基板線路層與上部腔體結構均采用絲網印刷布線,圖形精度較低。同時因受絲網印刷工藝限制,所制備的MSC基板腔體厚度 (深度) 有限。因此MSC三維基板僅適用于體積較小、精度要求不高的電子器件封裝。許多微電子器件 (如加速度計、陀螺儀、深紫外 LED等) 芯片對空氣、濕氣、灰塵等非常敏感。如LED芯片理論上可工作10萬小時以上,但水汽侵蝕會大大縮短其壽命 (甚至降低至幾千小時)。愛彼電路(iPcb?)是專業高精密PCB電路板研發生產廠家,可批量生產4-46層pcb板,電路板,線路板,高頻板,高速板,HDI板,pcb線路板,高頻高速板,雙面,多層線路板,hdi電路板,混壓電路板,高頻電路板,軟硬結合板等