陶瓷基板是指銅箔在高溫下直接鍵合到氧化鋁(Al2O3)或氮化鋁(AIN)陶瓷基板表面(單面或雙面)的特殊工藝板。由于制成的超薄復合基板具有優(yōu)良的電絕緣性能、有高導熱性、優(yōu)良的軟纖焊性和高的附著的強度,可以像普通PCB板一樣能蝕刻成各種圖案,具有很大的載流能力。因此,陶瓷基板已成為大功率電力電子電路結(jié)構(gòu)技術(shù)和互連技術(shù)的基礎(chǔ)材料。
1、陶瓷基板的特點:
1、結(jié)構(gòu):機械強度優(yōu)良,翹曲度低,熱膨脹系數(shù)接近硅晶圓(氮化鋁),硬度高,加工性好,尺寸精度高
2、氣候:適用于高溫高濕環(huán)境,導熱系數(shù)高,耐熱性好,耐腐蝕,耐磨耗,抗紫外線,耐黃化
3、化學:無鉛,無毒,化學穩(wěn)定性好
4、電性:絕緣電阻高,易金屬化,與電路圖形附著力強
2、陶瓷電路板制造工藝分類:
1、薄膜法(DPC技術(shù)):薄膜法是微電子制造中金屬薄膜沉積的主要方法。它主要采用蒸發(fā)、磁控濺射等表面沉積工藝對基板表面進行金屬化處理。它適用于大多數(shù)陶瓷基板。然而,這種方法需要后續(xù)的蝕刻工藝來完成圖形轉(zhuǎn)移。
2、厚膜法(DPC技術(shù)):厚膜法是利用絲網(wǎng)印刷技術(shù)、微筆直寫技術(shù)和噴墨印刷技術(shù)等微流動直寫技術(shù)在基材上沉積導電漿料,它是通過高溫燒結(jié)形成的導電線和電極等,這種方法適用于大部分陶瓷基板。厚膜導電漿料一般由微米級金屬粉末和少量玻璃粘合劑再加有機溶劑組成。漿料中的玻璃粘合劑在高溫下與基板結(jié)合,使厚膜導電漿料粘附在基板表面。如果粘合劑用量過多,多余的玻璃會浮在導線表面,導致焊料潤濕性下降。
3、直接敷銅法(DPC技術(shù)):直接敷銅(DBC)技術(shù)是主要基于Al2O3陶瓷基板發(fā)展起來的一種陶瓷表面金屬化技術(shù),后來應(yīng)用于AlN陶瓷。已成功應(yīng)用于大功率電力半導體模塊、太陽能電池板組件、汽車電子、航空航天及軍工電子組件、智能功率組件等領(lǐng)域。是指將銅箔(厚度大于0.1mm)在N2氣氛保護下,在1065~1083℃的溫度范圍內(nèi)直接鍵合在Al2O3陶瓷基板表面的一種特殊工藝。
3、陶瓷電路板的廣泛應(yīng)用:
1、高功率激光發(fā)射器:(陶瓷基板在激光發(fā)射器中具有更好的導熱和散熱性能)
2、太陽能應(yīng)用領(lǐng)域:(陶瓷基板在高溫條件下具有較高的穩(wěn)定性)
3、電動汽車領(lǐng)域:(陶瓷基板應(yīng)用于電動汽車的逆變器、USP電源、電動汽車充電樁等高功率電路)
4、高功率無線電發(fā)射:(陶瓷基板適用于大功率無線電發(fā)射)
5、HIFI音響應(yīng)用:(陶瓷基板保持運放和功放芯片的熱穩(wěn)定性,開機后無需預(yù)熱即可穩(wěn)定音色)
6、高壓輸變電電網(wǎng):(陶瓷基板在高壓輸變電電網(wǎng)中的應(yīng)用)
7、高速列車等領(lǐng)域:(陶瓷基板在高速列車部分大功率導電電路板上的應(yīng)用)
8、高溫應(yīng)用領(lǐng)域:(陶瓷基板金層性能在800度高溫下仍保持穩(wěn)定)
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